說明:
Measuring the Nearly Immeasurable不可思議的晶圓厚度測量 在柏林費(fèi)迪南德布勞恩研究所生產(chǎn)的半導(dǎo)體激光和高頻放大器晶圓必須達(dá)到一個極度精密的層厚度,。潔凈室工人使用Werth多傳感器坐標(biāo)測量機(jī)監(jiān)督這個過程,。該機(jī)配有色差傳感器,準(zhǔn)確的無接觸捕捉所需的測量元素,。 在柏林的費(fèi)迪南德布勞恩研究所,、萊布尼茲研究所。共有220名員工,,其中包括110名科學(xué)家,。開發(fā)和生產(chǎn)用于材料加工、和精密測量技術(shù),,以及其他二極管激光器產(chǎn)品,。另一個是通信技術(shù)、電力電子技術(shù)和傳感器的高頻零件的生產(chǎn),?!霸摪雽?dǎo)體激光器具有低的安裝高度,以及高精度的拋光和接觸力,,”工藝技術(shù)部的Dr.AndreasThies說這些,。雖然這樣的激光不大于一粒米,但它可以輸出高達(dá)20瓦的連續(xù)波操作,,或100瓦的快速脈沖波,。激光在光盤中的大約是5000到25000倍。這些特點(diǎn),,伴隨著在極端條件下的高可靠性,,使得FBH激光器享譽(yù)全球。他們甚至在外太空試驗(yàn),,例如,,在下一代GPS衛(wèi)星的原子鐘。光學(xué)有許多領(lǐng)域的應(yīng)用案例,。在醫(yī)學(xué)技術(shù)中,,他們通過開啟一種準(zhǔn)確定義的波長和受影響的被破壞細(xì)胞,在“Zhongliu”細(xì)胞中建立的“Yaowu”來幫助“Zhiliao”的光動力療法,。進(jìn)一步的應(yīng)用包括光學(xué)精密測量,,工業(yè)測量和材料處理(粘接、焊接,、雕刻),。 晶圓的各種加工過程 微波技術(shù)的研究和開發(fā)工作和光電是對基本技術(shù)的基礎(chǔ)上完成的。利用外延(在單晶底面上放置的單晶半導(dǎo)體層),,與所需的極薄的層的特征材料組裝在硅晶圓上,。使用現(xiàn)代工藝,,晶圓要進(jìn)一步加工,加工流程包括光刻方法,,濕法和干法刻蝕工藝和金屬化的步驟,。約2000片與微波電路,或10000個激光芯片,,能夠組裝成4英寸晶圓,。 不可思議的晶圓厚度測量 圖1在潔凈室里:員工使用3D多傳感器坐標(biāo)測量機(jī),采用色譜聚焦傳感器測量晶圓厚度 在技術(shù)人員將芯片從晶圓分離并且把它們組裝到光電或者高頻原件...
說明:
線色譜傳感器—高速下的高精度 WERTH為2017年Control展隆重推出新研發(fā)的傳感器系列:線色譜傳感器(ChromaticFocusLineSensor,CFL),。其可以快速采集整個零件的幾何形狀,。通過選用不同的物鏡,調(diào)節(jié)測量誤差和測量范圍來適應(yīng)各種應(yīng)用需求,。通過大的軸向測量范圍,,不需要針對零件幾何形狀的可控的補(bǔ)充。以便通過掃描,,快速并大面積獲取零件幾何形狀,。針對表面有高度變化的零件可以采用3D仿樣進(jìn)行掃描。線色譜傳感器可以用于測量漫反射,、鏡面和透明零件以及有較大傾斜角的零件表面,。 CFL在零件表面投影一排約200個白色光點(diǎn)。從零件表面反射回的光線將通過光譜分析,,確定傳感器和零件表面之間的距離。通過新的線傳感器創(chuàng)新次實(shí)現(xiàn)了高速并且高精度地,、完整地采集零件3D數(shù)據(jù),。僅僅用3秒鐘就能夠測量100萬個測量點(diǎn)。 線色譜傳感器還具有另一個有趣的功能:反射回的光的波長強(qiáng)度被分析評估,,并創(chuàng)建零件表面的柵格圖像,。其后續(xù)的分析評估允許通過圖像處理軟件“在圖像內(nèi)”確定零件坐標(biāo)系或者測量幾何特征。在此基礎(chǔ)上,,由于位置的確定,,可以不需要傳感器轉(zhuǎn)換就使用各種其他傳感器進(jìn)行測量。 在快速的測量速度下,,CFL的測量準(zhǔn)確度允許測量精密零件和微特征,。該傳感器不僅可以用于鏡面或者透明零件如沖壓印模或者硬質(zhì)合金及金剛石刀具的測量,,也可以用于漫反射的塑料零件的測量,。通過高點(diǎn)密度來確定不同表面的形貌。例如微機(jī)械零件手表表盤,。CFL的另一個典型應(yīng)用是在半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域,,在生產(chǎn)工序中,,對于LED陣列的共面的測量。作為測量結(jié)果,,是以點(diǎn)云的形式體現(xiàn)零件表面的完整形狀,,借此測量平面度或者粗糙度以及幾何元素。也可以用顏色編碼顯示出理論實(shí)際值偏差,。 線色譜傳感器—高速下的高精度 線色譜傳感器測量的點(diǎn)云數(shù)據(jù)和CAD模型的顏色編碼偏差顯示 線色譜傳感器—高速下的高精度 手表表盤的柵格圖像.線色譜傳感器測量的點(diǎn)云數(shù)據(jù)和CAD模型的...
說明:
用戶是一家全球的汽車行業(yè)一級供應(yīng)商,,以研發(fā)和制造傳動系統(tǒng)聞名于世。現(xiàn)代智能化齒輪軸硬度測試 需求 改進(jìn)工藝標(biāo)準(zhǔn)和簡化操作者影響 隨著軟車削和切割操作,,傳動系統(tǒng)中的軸和齒輪在進(jìn)行爐熱處理,,表面淬火硬化。 在表面硬化時,,部件的表面層首先經(jīng)過碳富集然后硬化,。這增加了表面層的硬度,從而增加的抗壓強(qiáng)度和疲勞強(qiáng)度,,以及耐磨損性,。樣品的核心保持韌性,具有較高的強(qiáng)度,,因此抗沖擊-傳動系統(tǒng)的基本特征,。 進(jìn)行回火作為硬化過程的一部分?;鼗鹕晕p少了硬度,,并大大提高了屈服強(qiáng)度(韌性)。 快速和簡單的質(zhì)量和過程控制,,每個批次部件,,必須在熱處理工藝后立即測試。同時,,要求改進(jìn)工藝標(biāo)準(zhǔn),。該批次的分類必須在未來隨時能夠調(diào)用,所有相關(guān)數(shù)據(jù)必須自動保存,。 現(xiàn)代智能化齒輪軸硬度測試 硬度測試機(jī)符合如下需求: 1.多種部件,,根據(jù)生產(chǎn)線:各種不同形狀和尺寸需要測試。 2.操作進(jìn)程速度:掃描部件條碼,,硬度測試機(jī)從數(shù)據(jù)庫檢索測試方法,,并返回測試結(jié)果。 3.簡化使用者操作:由QA軟件分配測試工件,,并將測試結(jié)果通過RS232接口傳輸?shù)絈A軟件,。 4.硬度測試機(jī)操作簡單:多個操作工對多條生產(chǎn)線進(jìn)行硬度測試,無需復(fù)雜培訓(xùn)。 5.輕,、緊湊:由于硬化車間的空間限制,,硬度測試機(jī)不應(yīng)該占用較大空間。 解決方案 DuraJet10G5簡單快速 現(xiàn)代智能化齒輪軸硬度測試 一臺Durajet10被放置在每一個生產(chǎn)線,。由于電子壓載控制系統(tǒng)主要載荷從1到250kgf,,單臺設(shè)備即可覆蓋整個洛氏范圍??稍谏a(chǎn)線上直接快速測量表面硬度,。 此外,在300x740x565mm的Durajet是緊湊和輕量的硬度計(jì),。因此,,它不需要很大的空間。由于高精度測試頭,,廣泛的部件可以夾緊和測試,。 使用串行接口(RS232)可進(jìn)行完整的數(shù)據(jù)管理。所有數(shù)據(jù)以ASCII格式輸入和輸出,。因此,,所有數(shù)據(jù)可以導(dǎo)出到該公司的QA軟件,在那里進(jìn)一步處理,。由此,,數(shù)據(jù)不再丟失。...
說明:
行業(yè)需求光學(xué)產(chǎn)品,、玻璃及玻璃制品應(yīng)用領(lǐng)域?qū)嶒?yàn)室客戶主要產(chǎn)品: 雙筒望遠(yuǎn)鏡,,望遠(yuǎn)鏡,望遠(yuǎn)鏡瞄準(zhǔn)器 用戶是全球的狩獵,、觀景的光學(xué)產(chǎn)品提供商,。需求陽極氧化層和玻璃硬度測試 需求 陽極氧化和玻璃硬度測試 陽極氧化涂層是鋁上的氧化保護(hù)層。在創(chuàng)新步,,鋁制部件脫脂并酸洗。酸洗出去薄的天然氧化物層,,其后是實(shí)際的陽極氧化,。然后將新制備的多空層著色并隨后密封。陽極氧化是使用直流和酸性電解質(zhì)進(jìn)行的電解過程,。再次密封該層,,以防止腐蝕導(dǎo)致物質(zhì)沉積,并收縮閉合孔,。陽極涂層表現(xiàn)出極高的硬度,,耐磨。這些黑色涂層也表現(xiàn)出好的耐腐蝕特性,,它們通常用作裝飾涂料,。這些應(yīng)用的挑戰(zhàn)是找到正確的陽極涂層測試方法,,因?yàn)樗鼈円环矫姹。硪环矫嫠鼈儼?。此外,,還需要對玻璃進(jìn)行測試,因?yàn)椴Aг趦?nèi)部測試的過程中測試,,這里必須哪些測試方法是合適的,。還可以自動生成針對客戶要求的報(bào)告。解決方案DuraScan 20因?yàn)殛枠O涂層薄,,所以只能使用低試驗(yàn)力,。使用努氏HK0.01方法,我們已經(jīng)成功地直接對涂層進(jìn)行了測試,。努氏壓痕不能深入滲透材料,,適用于薄涂層。努氏方法用于玻璃硬度測試也是合適的,,使用的測試方法取決于玻璃,。使用DuraScan20可以進(jìn)行努氏和維氏測試,負(fù)載范圍從10g到62.5kg,。配置了維氏和努氏壓頭,,自動轉(zhuǎn)塔配有三個鏡頭,覆蓋了整個負(fù)載范圍,。自動亮度控制可以在黑暗的表面進(jìn)行測試,。測試報(bào)告是根據(jù)客戶要求量身定制的。因此可以在測量結(jié)束時自動生成報(bào)告,。為什么選擇EMCO-TEST,?硬度測試機(jī)的獨(dú)特設(shè)計(jì)引起了客戶的興趣,他們對DuraScan20印象深刻,。電動Z軸設(shè)計(jì),,向前邁出了一大步,大大減輕了工作量,。 “轉(zhuǎn)塔超級棒,!當(dāng)測試陽極氧化涂層時,通常需要多次測量以找到測試負(fù)載,。如果我每次都要在壓頭和鏡頭之間轉(zhuǎn)換,,會浪費(fèi)大量時間。就這樣,,一切都是自動的,,真的很快!此外我有不同的光學(xué)鏡頭在轉(zhuǎn)塔上,因此將節(jié)省更多時間,。我還發(fā)現(xiàn)這臺設(shè)備性價比極...
說明:
近年來,,計(jì)算機(jī)斷層掃描技術(shù)的發(fā)展集中于大型零件和難以穿透的物質(zhì)的高分辨率測量的研發(fā)。為此,,必須使用大型和重型坐標(biāo)測量機(jī),。X射線管產(chǎn)生了2個分支:封閉式射線管在2到3年后必須更換;開放式射線管每年必須進(jìn)行多次保養(yǎng),。這導(dǎo)致了頻繁停機(jī)以及高昂的維保費(fèi)用,。 小工件工業(yè)CT無損高精密測量絕配-TomoScopeXS TomoScope®XS綜合了不同類型設(shè)備的很多的優(yōu)點(diǎn),具有獨(dú)特性,。 TomoScope®XS是一款小尺寸高科技的機(jī)器,。新的設(shè)備類型綜合了不同類型設(shè)備的很多的優(yōu)點(diǎn),具有獨(dú)特性,。創(chuàng)新次以直板設(shè)計(jì)出現(xiàn)的穿透式射線管具有小焦點(diǎn)大功率的特性,,可以實(shí)現(xiàn)快速并且高分辨率測量。新的X射線管結(jié)合了封閉式和開放式微焦點(diǎn)射線管的優(yōu)點(diǎn),。X射線管,、發(fā)電機(jī)和真空發(fā)生器的直板設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了開放式結(jié)構(gòu)。使得維保周期延長并且理論是實(shí)現(xiàn)了無限的使用周期,。停機(jī)時間和運(yùn)營成比得到了減少,。大的管電壓可以達(dá)到130kV或者可選160kV,可以用于測量較大和高密度材質(zhì)的零件,。通過氣浮轉(zhuǎn)臺使得零件可以高精度定位,,減少測量誤差。 由于緊湊的設(shè)計(jì),,縮小了相應(yīng)的尺寸并且減少了重量,,TomoScope®XS幾乎可以被放置在場所。低購置成本和運(yùn)營成本實(shí)現(xiàn)快速的收益,。面向未來的理念為升級到160kV的管電壓以及80W的功率提供了可能性,。 如同WERTH的所有CT設(shè)備一樣,TomoScope®XS在采集圖像的同時進(jìn)行零件的3D重構(gòu),,實(shí)現(xiàn)快速同步進(jìn)程測量,。測量軟件WinWerth®保證了整個測量過程中測量結(jié)果的可追溯性。WERTH是一家擁有對CT設(shè)備校準(zhǔn)資質(zhì)的DAkkS實(shí)驗(yàn)室證書的生產(chǎn)廠家,,保證了測量結(jié)果的可靠性以及可追溯性。推出符合精度標(biāo)準(zhǔn)的緊湊且價優(yōu)的設(shè)備,??焖倩貓?bào)及低廉的維護(hù)成本可以使得大量采購帶有CT傳感器的TomoScope®XS用于不同零件的測量成為可能。...
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插頭連接器之類的電子元器件的尺寸越來越小,這對制造業(yè)提出了更大的挑戰(zhàn),。ERNI電子采用三維數(shù)控多傳感器測量設(shè)備來確保其制造工藝,,其中一臺設(shè)備帶有X射線計(jì)算機(jī)斷層掃描技術(shù)。現(xiàn)代測量技術(shù)能夠快速地實(shí)現(xiàn)工藝驗(yàn)證,?!疚磥頊y量學(xué)】多傳感器系統(tǒng)是實(shí)現(xiàn)零缺陷生產(chǎn)的基礎(chǔ) ERNI電子引入了“零缺陷生產(chǎn)“技術(shù)。該公司在斯圖加特附近的阿德爾貝格生產(chǎn)大量各種電路板連接器和I/O插頭連接器,,背板,,連接器電纜,外殼,,系統(tǒng)和工具,。許多產(chǎn)品通過供應(yīng)商進(jìn)入汽車工業(yè)領(lǐng)域,在那里要求已安裝的組件具有特別高的品質(zhì),。 因此,,質(zhì)保部的配套設(shè)施是名列前茅的。在測量實(shí)驗(yàn)室里,,除了各種三維數(shù)控多傳感器測量機(jī)以外,,還有一臺帶有X射線計(jì)算機(jī)斷層掃描傳感器的三坐標(biāo)測量機(jī)(CMM)。為了讓工人能夠迅速檢查他們的工作成果,,在生產(chǎn)車間里安置了一臺復(fù)合式三坐標(biāo)測量機(jī),。 質(zhì)量管理部負(fù)責(zé)人OliverJehlitschke解釋說:“汽車工業(yè)總是希望增加電路板的封裝密度。這意味著,,我們要不斷開發(fā)更小的插頭連接器,。因此,我們必須不斷調(diào)整生產(chǎn)和測量條件,?!?他所在部門的長期指導(dǎo)者和合作伙伴是Werth。這個位于吉森的公司是現(xiàn)代三坐標(biāo)測量界的優(yōu)良供應(yīng)商,。其專門從事生產(chǎn)帶有光學(xué)傳感器和X射線斷層掃描技術(shù)的三坐標(biāo)測量機(jī),,以及復(fù)合式三坐標(biāo)測量機(jī)。早在1996年,,ERNI就引進(jìn)了一臺緊湊型設(shè)備VideoCheckIP250,,用于插頭連接器、外殼和打孔帶的光學(xué)測量,。如今,,它已被一臺更新、更準(zhǔn)確的同類型測量機(jī)所替代,。對于較大的零件,,ERNI在1999年投入使用了VideoCheckFB固定橋式測量機(jī),,它的測量范圍是400×400×200mm。它配備了遠(yuǎn)心光學(xué)鏡頭,,以及獲得Werth光纖探針和傳統(tǒng)的3D觸發(fā)式探針,。 計(jì)算機(jī)斷層掃描技術(shù)使三坐標(biāo)測量機(jī)更加完善 ERNI測量實(shí)驗(yàn)室的一大亮點(diǎn)是自2008年以來就被投入使用的WerthTomoSco...