四合一測量技術的革新者
瑞士丹青Sensofar的四合一方法只需點擊一次,，系統(tǒng)即可切換到適合當前測量任務的最佳技術,。在S neox傳感器頭中配置四種測量技術——共聚焦，干涉,，AI多焦面疊加,，這些都為系統(tǒng)的多功能性做出了重要貢獻，并有助于最大限度地減少數(shù)據(jù)采集中的噪點,。S neox是所有實驗室的理想之選,，適用范圍廣泛。
AI多焦面疊加
主動照明多焦面疊加是一種為了測量大粗糙表面形狀而開發(fā)的光學技術,。這項技術基于Sensofar在共聚焦和干涉3D測量領域的廣泛專業(yè)知識,，專門設計用于補充低放大率下的測量。通過使用主動照明,，即使在光學平滑的表面上也能獲得更可靠的測量數(shù)據(jù),，這一點已經(jīng)得到了改進。該技術的亮點包括高斜率表面（高達86°）,，最快的速度（3mm/s）和較大的垂直范圍測量。
共聚焦
共聚焦輪廓儀的開發(fā)目的是,，測量從光滑表面到非常粗糙表面的表面高度,。共聚焦輪廓提供最高的橫向分辨率，最高可達0.15μm水平分辨率，空間采樣可減少到0.01μm,，這是關鍵尺寸測量的理想選擇,。高達NA（0.95）和放大倍率（150X）的物鏡可用于測量局部斜率超過70°的光滑表面。對于粗糙表面,，最高可允許86°,。獨家的共聚焦算法提供了納米尺度上的垂直重復性。
干涉
PSI 相移干涉法,，可以用于測量亞埃分辨率的高度光滑和連續(xù)表面的高度,。可以使用極低的放大率（2.5X）測量具有相同高度分辨率的大視場,。
CSI 相干掃描干涉法使用白光掃描光滑到中等粗糙表面的表面高度,，達到1nm的高度分辨率。
薄膜
薄膜測量技術快速,、準確,、無損地測量光學透明層的厚度，且不需要樣品制備,。該系統(tǒng)獲取可見光范圍內(nèi)樣品的反射光譜,，并與軟件計算的模擬光譜進行比較，對層厚進行修改,，直到找到最佳擬合,。可以在不到一秒鐘的時間內(nèi)測量出50nm到1.5μm的透明膜,。測量光斑取決于物鏡放大率,，最小可低至0.5μm，最高可達40μm,。
