四合一測(cè)量技術(shù)的革新者
瑞士丹青Sensofar的四合一方法只需點(diǎn)擊一次,,系統(tǒng)即可切換到適合當(dāng)前測(cè)量任務(wù)的最佳技術(shù)。在S neox傳感器頭中配置四種測(cè)量技術(shù)——共聚焦,,干涉,,AI多焦面疊加,這些都為系統(tǒng)的多功能性做出了重要貢獻(xiàn),,并有助于最大限度地減少數(shù)據(jù)采集中的噪點(diǎn),。S neox是所有實(shí)驗(yàn)室的理想之選,適用范圍廣泛,。
AI多焦面疊加
主動(dòng)照明多焦面疊加是一種為了測(cè)量大粗糙表面形狀而開發(fā)的光學(xué)技術(shù),。這項(xiàng)技術(shù)基于Sensofar在共聚焦和干涉3D測(cè)量領(lǐng)域的廣泛專業(yè)知識(shí),專門設(shè)計(jì)用于補(bǔ)充低放大率下的測(cè)量,。通過使用主動(dòng)照明,,即使在光學(xué)平滑的表面上也能獲得更可靠的測(cè)量數(shù)據(jù),這一點(diǎn)已經(jīng)得到了改進(jìn),。該技術(shù)的亮點(diǎn)包括高斜率表面(高達(dá)86°),,最快的速度(3mm/s)和較大的垂直范圍測(cè)量。


共聚焦
共聚焦輪廓儀的開發(fā)目的是,,測(cè)量從光滑表面到非常粗糙表面的表面高度,。共聚焦輪廓提供最高的橫向分辨率,最高可達(dá)0.15μm水平分辨率,,空間采樣可減少到0.01μm,,這是關(guān)鍵尺寸測(cè)量的理想選擇。高達(dá)NA(0.95)和放大倍率(150X)的物鏡可用于測(cè)量局部斜率超過70°的光滑表面,。對(duì)于粗糙表面,,最高可允許86°。獨(dú)家的共聚焦算法提供了納米尺度上的垂直重復(fù)性,。


干涉
PSI 相移干涉法,,可以用于測(cè)量亞埃分辨率的高度光滑和連續(xù)表面的高度。可以使用極低的放大率(2.5X)測(cè)量具有相同高度分辨率的大視場(chǎng),。
CSI 相干掃描干涉法使用白光掃描光滑到中等粗糙表面的表面高度,,達(dá)到1nm的高度分辨率。


薄膜
薄膜測(cè)量技術(shù)快速,、準(zhǔn)確,、無損地測(cè)量光學(xué)透明層的厚度,且不需要樣品制備,。該系統(tǒng)獲取可見光范圍內(nèi)樣品的反射光譜,,并與軟件計(jì)算的模擬光譜進(jìn)行比較,,對(duì)層厚進(jìn)行修改,,直到找到最佳擬合??梢栽诓坏揭幻腌姷臅r(shí)間內(nèi)測(cè)量出50nm到1.5μm的透明膜,。測(cè)量光斑取決于物鏡放大率,最小可低至0.5μm,,最高可達(dá)40μm,。
